光學透鏡中說的面型精度是什么意思？
2021/08/27
NMOT
面型精度圖例
光學透鏡面型精度是采用精密拋光表面與理想平面的偏差量來表征。因為使用可以測量波面的光學干涉儀來測量，所以也被稱為反射波面精度。光學透鏡面型精度的干涉條紋數的單位是[λ]。λ是干涉儀所使用的氦氖激光器的波長632.8nm。
光學干涉儀條紋圖例
另外，表征面型精度有兩個參數：PV和RMS值。
PV值是Peak to Valley（峰值與谷值的差值），RMS值是Root Mean Square（均方根值），根據經驗RMS值是PV值的1/3左右。因為象平面這類的簡單形狀，大多使用PV值來表示，所以本產品目錄中的面型精度使用PV值表示。例如，面型精度的PV值是1/2λ時，表示與理想平面的最大偏差值是316.4nm。
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